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図説 表面分析ハンドブック
日本表面真空学会 (編)
内容紹介
表面分析は化学・物理などの基礎研究のみならず,産業界でも研究開発・品質管理などに利用されている。本書では約120の表面分析手法を取り上げ,見開き形式で解説。原理だけでなく実際の適用例を複数紹介し,また各項目の冒頭にはその手法の特徴や主な適用先などをまとめ,一目で概要がわかるよう工夫。試料の種類や性質,目的により適切な手法を選択するためのリファレンス。〔内容〕電子線分析/イオンビーム分析/エリプソメトリ/AFM/磁気計測/データ解析/他
編集部から
目次
Ⅰ 電子
1. 電子線分析
1. 1 オージェ電子分光法 [松井文彦]
1. 2 電子線マイクロアナリシス [坂前 浩]
1. 3 高分解能電子エネルギー損失分光法 [奥山 弘]
1. 4 ペニングイオン化電子分光法 [細貝拓也]
2. 低エネルギー電子顕微鏡/光電子顕微鏡
2. 1 低エネルギー電子顕微鏡 [日比野浩樹]
2. 2 光電子顕微鏡 [木下豊彦]
2. 3 時間分解光電子顕微鏡 [久保 敦]
3. 走査電子顕微鏡
3. 1 走査電子顕微鏡 [岡野康之]
3. 2 走査電子顕微鏡によるエネルギー分散型X線分光法 [森田正樹]
3. 3 カソードルミネッセンス [関口隆史]
3. 4 後方散乱電子回折法 [光原昌寿]
3. 5 環境制御型走査電子顕微鏡 [大南祐介]
3. 6 集束イオンビーム電子顕微鏡 [坂本哲夫]
4. 透過電子顕微鏡
4. 1 透過電子顕微鏡 [三留正則]
4. 2 走査透過電子顕微鏡 [木本浩司]
4. 3 収差補正透過電子顕微鏡 [大島義文]
4. 4 分析電子顕微鏡 [奥西栄治]
4. 5 環境制御型透過電子顕微鏡 [川﨑忠寛]
5. 電子回折法
5. 1 低速電子回折法 [堀尾吉已]
5. 2 反射高速電子回折法 [堀尾吉已]
5. 3 透過電子回折法 [松井良夫]
5. 4 マイクロプローブ反射高速電子回折法 [市川昌和]
Ⅱ 粒子
6. イオンビーム分析
6. 1 飛行時間形二次イオン質量分析法 [青柳里果]
6. 2 ダイナミック二次イオン質量分析法 [富田充裕]
6. 3 レーザーイオン化二次中性粒子質量分析法 [坂本哲夫]
6. 4 核反応解析法 [松本益明・Markus Wilde]
6. 5 走査型ヘリウムイオン顕微鏡 [大西桂子]
7. イオン散乱法
7. 1 直衝突イオン散乱分光法 [青野正和・片山光浩]
7. 2 中エネルギーイオン散乱法 [西村智朗]
7. 3 ラザフォード後方散乱法 [関場大一郎]
7. 4 反跳原子検出法 [関場大一郎]
7. 5 ヘリウム原子線散乱法 [近藤剛弘]
8. 陽電子回折法
8. 1 陽電子回折法 [深谷有喜]
9. 中性子反射率法
9. 1 中性子反射率法 [山田悟史]
Ⅲ 光
10. 赤外分光法・テラヘルツ分光法
10. 1 赤外反射吸収分光法 [吉信 淳]
10. 2 赤外外部反射法 [長谷川 健]
10. 3 電気化学赤外反射吸収分光法 [叶 深]
10. 4 p 偏光多角入射分解分光法 [長谷川 健]
10. 5 表面増強赤外吸収分光法 [島田 透]
10. 6 テラヘルツ時間領域分光法 [片山郁文]
11. ラマン分光法
11. 1 顕微ラマン分光法 [望月健太郎・藤田克昌]
11. 2 表面増強ラマン散乱法 [池田勝佳]
11. 3 チップ増強ラマン散乱法 [早澤紀彦]
12. 非線形分光法
12. 1 非線形分光法 [山口祥一]
12. 2 光第二高調波発生分光法 [水谷五郎・Khuat Thi Thu Hien]
12. 3 振動和周波発生分光法 [二本柳聡史]
12. 4 電気化学和周波発生分光法 [野口秀典]
12. 5 四次非線形ラマン分光法 [山口祥一]
13. 光学顕微鏡
13. 1 光学顕微鏡 [手老龍吾・樺山一哉]
13. 2 微分干渉顕微鏡・位相差顕微鏡 [佐﨑 元・小松 啓]
13. 3 干渉変位計測 [戸田雅也]
14. エリプソメトリ・表面プラズモン共鳴法
14. 1 消光型エリプソメトリ [津留俊英]
14. 2 分光エリプソメトリ・イメージングエリプソメトリ [森山 匠・板倉明子]
14. 3 表面プラズモン共鳴法 [玉田 薫]
15. 可視分光法
15. 1 フォトルミネッセンス測定 [宮内雄平]
15. 2 反射率差分光法 [首藤健一・大野真也]
15. 3 紫外・可視分光光度測定(固体用) [雨倉 宏]
16. 光電子分光法
16. 1 X線光電子分光法 [中村 誠]
16. 2 角度分解光電子分光法 [佐藤宇史]
16. 3 硬X線光電子分光法 [関山 明]
16. 4 雰囲気X線光電子分光法 [近藤 寛]
16. 5 時間分解光電子分光法 [松田 巌]
16. 6 レーザー光電子分光法 [荒船竜一]
16. 7 ナノ角度分解光電子分光法 [堀場弘司]
17. 光電子回折法
17. 1 X線光電子回折法 [松下智裕・松井文彦]
18. X線回折法
18. 1 X線反射率法 [Wolfgang Voegeli・荒川悦雄]
18. 2 X線結晶トランケーションロッド散乱法 [白澤徹郎]
18. 3 表面X線回折法 [荒川悦雄]
18. 4 電気化学表面X線散乱法 [近藤敏啓]
19. X線吸収法
19. 1 X線吸収端構造法 [阿部 仁]
19. 2 広域X線吸収微細構造分光法 [阿部 仁]
19. 3 軟X線吸収微細構造解析法 [雨宮健太]
19. 4 電気化学X線吸収微細構造法 [増田卓也]
20. 走査透過X線顕微鏡
20. 1 走査透過X線顕微鏡 [武市泰男]
21. X線分光法
21. 1 全反射蛍光X線分析法 [国村伸祐]
21. 2 共鳴非弾性X線散乱法 [原田慈久]
Ⅳ 探 針
22. 接触プローブ法
22. 1 表面粗さ測定 [土佐正弘]
22. 2 表面弾性波伝搬測定 [佐々木信也]
22. 3 ナノインデンテーション法 [三宅晃司]
23. 原子間力顕微鏡
23. 1 原子間力顕微鏡 [藤井慎太郎]
23. 2 フォースカーブ法 [小暮亮雅]
23. 3 水平力顕微鏡 [森口志穂]
23. 4 電流同時測定 [藤 里砂]
23. 5 周波数変調原子間力顕微鏡 [阿部真之]
23. 6 位相モード [中島秀郎]
23. 7 ケルビンフォース顕微鏡 [藤 里砂]
23. 8 高速原子間力顕微鏡 [内橋貴之]
23. 9 圧電応答顕微鏡 [平出雅人]
23. 10 電気化学原子間力顕微鏡 [宇都宮 徹]
23. 11 原子間力分光法 [森田清三・杉本宜昭]
23. 12 X線支援非接触原子間力顕微鏡 [鈴木秀士]
23. 13 走査型近接場光学顕微鏡 [成島哲也]
23. 14 走査型電気化学顕微鏡 [高橋康史]
24. 走査トンネル顕微鏡
24. 1 走査トンネル顕微鏡 [藤井慎太郎]
24. 2 走査トンネル分光法 [長谷川幸雄]
24. 3 雰囲気制御・電気化学走査トンネル顕微鏡 [福井賢一]
24. 4 非弾性電子トンネル分光法 [岡林則夫]
24. 5 走査トンネル顕微鏡発光分光法 [片野 諭]
24. 6 時間分解走査トンネル顕微鏡 [重川秀実]
24. 7 走査トンネル顕微鏡操作,単分子誘起反応と振動分析 [奥山 弘]
24. 8 多探針走査トンネル顕微鏡 [長谷川修司]
24. 9 単分子電気計測 [西野智昭]
Ⅴ その他
25. 脱離分析法
25. 1 昇温脱離法 [小倉正平]
25. 2 電子衝撃脱離法 [宮内直弥]
25. 3 光刺激脱離法 [福谷克之・池田暁彦]
25. 4 グロー放電質量分析法 [坂 貴]
25. 5 マトリクス支援レーザー脱離イオン化質量分析法 [佐藤貴弥]
25. 6 アトムプローブ電界イオン顕微鏡 [富取正彦]
25. 7 陽電子消滅誘起脱離法 [立花隆行・長嶋泰之]
26. 磁気計測
26. 1 表面磁気光学カー効果測定 [中川剛志]
26. 2 スピン分解光電子顕微鏡 [福本恵紀]
26. 3 スピン偏極走査電子顕微鏡 [孝橋照生・松山秀生]
26. 4 磁気力顕微鏡 [平出雅人]
26. 5 スピン偏極走査トンネル顕微鏡 [山田豊和]
26. 6 スピン・角度分解光電子分光法 [奥田太一]
26. 7 X線吸収磁気円二色性分光法 [雨宮健太]
27. 水晶振動子マイクロバランス法
27. 1 水晶振動子マイクロバランス法 [高井まどか]
28. 熱伝導率測定
28. 1 パルス光加熱サーモリフレクタンス法(時間分解サーモリフレクタンス法) [八木貴志]
29. データ解析
29. 1 多変量解析(統計的機械学習)によるスペクトルイメージング解析 [志賀元紀・青柳里果]
29. 2 材料組織画像の特徴量解析 [足立吉隆・福井ちひろ・Zhi Lei Wang]
索引
執筆者紹介
■編集委員(五十音順)
[委員長]
近藤剛弘 筑波大学
[委 員]
阿部仁 高エネルギー加速器研究機構/茨城大学
板倉明子 物質・材料研究機構
木口学 (株)トヤマ
久保敦 筑波大学
笹川薫 筑波大学
島田透 弘前大学
中辻寛 東京工業大学
本間芳和 東京理科大学
増田卓也 物質・材料研究機構
松井文彦 分子科学研究所
■執筆者(五十音順)
青野正和/青柳里果/足立吉隆/阿部仁/阿部真之/雨倉宏/雨宮健太/荒川悦雄/荒船竜一/池田暁彦/池田勝佳/板倉明子/市川昌和/内橋貴之/宇都宮徹大島義文/大西桂子/大野真也/大南祐介/岡野康之/岡林則夫/奥田太一/奥西栄治/奥山弘/小倉正平/片野諭/片山郁文/片山光浩/樺山一哉/川﨑忠寛/木下豊彦/木本浩司/Khuat Thi Thu Hien/国村伸祐/久保敦/孝橋照生/小暮亮雅/小松啓/近藤剛弘/近藤敏啓/近藤寛/坂貴/坂前浩/坂本哲夫/佐﨑元/佐々木信也/佐藤宇史/佐藤貴弥/志賀元紀/重川秀実/島田透/首藤健一/白澤徹郎/杉本宜昭/鈴木秀士/関口隆史/関場大一郎/関山明/高井まどか/高橋康史/武市泰男/立花隆行/玉田薫/津留俊英/手老龍吾/土佐正弘/戸田雅也/富田充裕/富取正彦/中川剛志/中島秀郎/長嶋泰之/中村誠/成島哲也/西野智昭/西村智朗/二本柳聡史/野口秀典/長谷川修司/長谷川健/長谷川幸雄/早澤紀彦/原田慈久/日比野浩樹/平出雅人/Markus Wilde/Wolfgang Voegeli/深谷有喜/福井賢一/福井ちひろ/福谷克之/福本恵紀/藤井慎太郎/藤田克昌/藤里砂/細貝拓也/堀尾吉已/堀場弘司/増田卓也/松井文彦/松井良夫/松下智裕/松田巌/松本益明/松山秀生/水谷五郎/光原昌寿/三留正則/宮内直弥/宮内雄平/三宅晃司/望月健太郎/森口志穂/森田清三/森田正樹/森山匠/八木貴志/山口祥一/山田豊和/山田悟史/叶深/吉信淳/Zhi Lei Wang