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内容紹介
本書はマイクロオプティクス・マイクロメカニクス・マイクロエレクトロニクスの技術融合を一冊に盛り込んだハンドブックである。第一線の技術者に実際に役立つよう配慮したほか，つとめて最新の理論の紹介や応用にもふれ，研究者の参考用にも適する。〔内容〕マイクロ光学の基礎／マイクロ力学の基礎／マイクロマシニング／マイクロオプティカルセンサ／マイクロメカニカルセンサ／マイクロアクチュエータ／マイクロオプティクス／マイクロオプトメカトロニクス技術とその応用
編集部から
目次
1. マイクロ工学の基礎
1.1 オプティクスの新しい展開
1.2 導波光学の基礎
1.3 マイクロキャビティ光デバイスの基礎
1.4 光発生の基礎
1.5 光検出の基礎
1.6 光制御の基礎
2. マイクロマシンニング
2.1 マイクロ材料学
2.2 シリコンのマイクロ加工
2.3 光材料のマイクロ加工
2.4 LIGAプロセスなどによる高アスペスト比の加工
2.5 レーザなどを利用した３次元加工
2.6 マイクロアセンブリ
3. マイクロオプティカルセンサ
3.1 光応用センシング
3.2 固体光センサ
3.3 光集積回路センサ
3.4 光ファイバセンサ
3.5 新しい展開
4. マイクロメカニカルセンサ
4.1 シリコンの物性
4.2 集積化圧力センサ
4.3 加速度センサ
4.4 トルクセンサ
4.5 触覚センサ
4.6 振動型センサ
5. マイクロアクチュエータ
5.1 静電アクチュエータ
5.2 電磁アクチュエータ
5.3 圧電アクチュエータ
5.4 熱型アクチュエータ
5.5 光歪アクチュエータ
5.6 レーザマニピュレーション
6. マイクロオプティクス
6.1 光ファイバとその部品
6.2 光コンポーネント
6.3 光IC型素子
6.4 赤外線・サブミリ波素子
7. マイクロオプトメカトロニクス融合技術とその応用
7.1 メカトロニクスを基盤とした技術融合の進展
7.2 情報分野への応用
7.3 通信分野への応用
7.4 計測分野への応用
7.5 分析分野への応用
7.6 医療分野への応用
8. 索 引
執筆者紹介
【編集委員】五十嵐伊勢美，江刺正喜，藤田博之
【編集幹事】板生 清，西原 浩
【編集委員】服部 肇，水島宜彦
【執筆者】荒井賢一，井筒雅之，五十嵐伊勢美，石原 直，池田恭一，板生 清，内田直也，内野研二，内海 厚，裏 升吾，江刺正喜，大岡昌博，大河正志，大木裕史，大平文和，尾嶋正治，加藤久雄，河口仁司，神戸 宏，片桐祥雅，桑野博喜，黒澤 実，後藤博史，佐々木 実，佐藤一雄，澤田廉士，庄子習一，新地 修，杉山 進，鈴木健一郎，鈴木雅則，田畑 修，綱脇惠章，伊藤順司，長岡新二，西原 浩，野々村 裕，羽根一博，浜中賢二郎，服部 正，服部 肇，藤田博之，本田 崇，前中一介，皆方 誠，三澤弘明，三宅 亮，南 和幸，山内良三，山中正宣，矢田恒二，横山弘之
