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ハイテクシリーズ センサ工学概論
内容紹介
人間の五感の工学的表現ともいえるセンサは,コンピュータ等の発展で飛躍的な進歩を遂げているが本書はその工学的基礎を詳述。〔内容〕センサ概説/変換機能の種類/センサ機能性材料/各種センサ/光ファイバセンサ/センサの微細加工技術
編集部から
目次
1. センサ概説
1.1 センサとは
1.2 センサの分類
1.3 将来の展望
2. 変換機能の種類
2.1 物理関連現象を利用した変換機能
2.2 化学関連現象を利用した変換機能
2.3 生物関連現象を利用した変換機能
3. センサ機能性材料
3.1 無機物Ⅰ:半導体・半導体セラミックス
3.2 無機物Ⅱ:ファインセラミックス
3.3 金属
3.4 有機物および高分子
4. センサ
4.1 圧力センサ
4.2 変位センサ
4.3 ひずみゲージ(センサ)
4.4 磁気センサ
4.5 温度センサ
4.6 光センサ
4.7 湿度センサ
4.8 ガスセンサ
4.9 バイオセンサ
4.10 超電導磁気抵抗素子
5. 光ファイバセンサ
5.1 光ファイバの種類
5.2 光ファイバセンサの形態
5.3 光ファイバセンサの種類
6. センサの微細加工技術
6.1 マイクロマシニングとセンサ
6.2 酸化技術
6.3 パターン形成
6.4 不純物ドーピング
6.5 膜形成
6.6 接合技術
7. 参考文献
8. 索 引